应用
• D-KOMBI薄膜卡盘的专用双活塞油缸
技术特点
• 两个独立的活塞，分别用于驱动薄膜卡爪和轴向摆动下压指形卡爪
• 压力范围： 3-60 bar
• 可选1通路或2通路旋转接头
• 配2个直线位置检测系统（LPS不包含），用于监测2个活塞的位置
• 中心通孔用于冷却液、油或空气的输送，并且带有用来安装旋转接头的螺纹
• 安装方式：螺钉从后面固定
• 液压系统过滤精度要求：10 μm
• 液压油：HM32 ISO 3448